高分辨二維材料轉(zhuǎn)移系統(tǒng)是一款低維材料異質(zhì)結(jié)器件轉(zhuǎn)移產(chǎn)品，適用于石墨烯、硫化鉬、黑磷等單層材料精確定點(diǎn)轉(zhuǎn)移，以及多層范德華異質(zhì)結(jié)的制備，實(shí)現(xiàn)了低維材料轉(zhuǎn)移的可視化操作。轉(zhuǎn)移系統(tǒng)由高分辨金相顯微系統(tǒng)、精確控溫系統(tǒng)、真空吸附系統(tǒng)、高精度四軸樣品臺(tái)及五軸襯底載物臺(tái)等組成，目標(biāo)襯底載物臺(tái)可面內(nèi)大角度旋轉(zhuǎn)，是研究異質(zhì)結(jié)特性、空間反演對(duì)稱性破缺、以及二維材料不同堆疊方式影響的有力工具。
應(yīng)用領(lǐng)域：
魔角超導(dǎo)。
二維材料堆疊。
范德華異質(zhì)結(jié)制備。
異質(zhì)結(jié)空間反演對(duì)稱性破缺。
技術(shù)優(yōu)勢(shì)：
集成化設(shè)計(jì)，易操作。
高分辨金相成像，實(shí)現(xiàn)μm級(jí)尺度轉(zhuǎn)移。
高位移精度，無(wú)回程差設(shè)計(jì)。
精確控溫模塊，適用多種材料。
襯底載物平臺(tái)：XY方向兩軸手動(dòng)平移，臺(tái)面60mm x 60mm，行程25mm，調(diào)節(jié)精度優(yōu)于2μm；繞Z軸旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)，臺(tái)面φ85mm，360°粗調(diào)，±5°精調(diào)，可視分辨率優(yōu)于0.8′；水平傾斜調(diào)節(jié)，臺(tái)面60mm x 60mm，調(diào)節(jié)范圍±2°，最小調(diào)整量5′；真空吸附加熱樣品臺(tái)，高溫~240℃,PID溫控器，控溫精度優(yōu)于±0.1℃，高熱導(dǎo)率加熱臺(tái)面，帶散熱冷卻模塊，升降溫速度快。
高分辨金相顯微鏡：雙目鏡SWH10X/25mm, 0.65倍CTV, 明場(chǎng)長(zhǎng)軸照明器，五孔物鏡轉(zhuǎn)盤，標(biāo)配5X、10X、50X復(fù)消色差長(zhǎng)工作距離物鏡，10X、100X可選，預(yù)留濾光及偏光插槽，帶光闌調(diào)節(jié)通光量及視野大小，高穩(wěn)定調(diào)焦機(jī)構(gòu)，成像質(zhì)量?jī)?yōu)異，適用μm級(jí)樣品定點(diǎn)精確轉(zhuǎn)移。
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