交付信息

交付日期：2023年10月20日
客戶單位：南京工業(yè)大學
交付產(chǎn)品：TLRH系列精密型基礎(chǔ)測試探針臺

現(xiàn)場實拍

核心指標

• • 真空卡盤直徑：4英寸

• • 樣品臺位移精度：<3μm

• • 探針座位移精度：<3μm

• • 漏電流精度：<100fA

• • 兼容多種光學顯微鏡

該探針臺系統(tǒng)可外引光路實現(xiàn)光電Mapping測試，是半導體材料或器件電學測試的理想選擇。

產(chǎn)品介紹

譜量光電：TLRH系列 精密型組合式探針臺

產(chǎn)品樣圖

產(chǎn)品特點

• • 模塊化設(shè)計，可以搭配不同構(gòu)件完成不同測試；

• • 最大可用于12寸以內(nèi)樣品測試；

• • 探針臺整體位移精度高達3μm，樣品臺精密四維調(diào)節(jié)；

• • 兼容多種光學顯微鏡，可外引光路實現(xiàn)光電Mapping測試；

• • 滿足1µm以上電極/PAD使用;

• • 漏電精度可達10pA/100fA（屏蔽箱內(nèi)）;

• • 探針座采用進口交叉滾珠導軌，線性移動，無回程差設(shè)計;

• • 加寬探針放置架，可放置6個DC探針座/4個RF探針座；

• • 配顯微鏡二維精密調(diào)節(jié)功能，且可選配多種行程及驅(qū)動方式。

應用領(lǐng)域

多被用于科研院校搭建測試系統(tǒng)，例如：材料電學測試系統(tǒng)、光電探測器光電響應系統(tǒng)、光電Mapping測試系統(tǒng)、憶阻器與神經(jīng)元系統(tǒng)等等。

公司可根據(jù)客戶實際需求定制配套的探針臺，以達到更好的測試效果和性價比，具體可各平臺咨詢客服。